3D 表面形狀測量系統(tǒng)

產(chǎn)品型號： Profilm 3D

所屬分類：面包體積測定

產(chǎn)品時間：2025-08-06

簡要描述：日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D
它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。

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詳細(xì)說明：

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

低價！
在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價
納米級高分辨率
采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率
全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
XY自動載物臺，手動左輪，自動光強調(diào)節(jié)，自動對焦功能
緊湊的外殼
主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計。
配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式一臺設(shè)備即可
測量臺階測量和粗糙度測量
操作
簡單基本操作只是簡單的鼠標(biāo)操作
符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測量符合
國際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178
可擴(kuò)展性
多種物鏡選擇，數(shù)據(jù)拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體	晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域	注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板	銅線、凸點、透鏡等

測量規(guī)格?

	垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)	相移干涉測量 (PSI)
測量范圍	50 納米 – 10 毫米	0 – 3 微米
準(zhǔn)確性	0.7%	——
再現(xiàn)性	0.1%	——
反射范圍	0.05% – 100%	0.05% – 100%

設(shè)備規(guī)格

XY自動載物臺	100mm x 100mm
Z軸驅(qū)動范圍	100mm
壓電驅(qū)動范圍	500微米
掃描速度	12微米/秒
相機	2592 x 1944（500 萬像素）
體重	15公斤

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3D 表面形狀測量系統(tǒng)

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