日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
規格
| 過濾精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 推薦流量 | 10～100?/min（各型號區別：參考流量特性曲線) |
| 最高使用壓力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
| 最大容許差壓 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
| 最高使用溫度 | 460℃ |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 |
| 構成材料 | 外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
| 連接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |
