• 使用應(yīng)變體和電容位移計(jì)進(jìn)行高分辨率微力測量

• 動態(tài)范圍 80db 緊湊輕便

• 最小分辨率10μN(yùn)

• 能夠同時測量兩個軸：載荷方向和摩擦方向

• 也可以作為單個傳感器出售（需要電容式位移計(jì)）

傳感器主要部分：

• 使用電容位移計(jì)

應(yīng)變體：

• 鋁塊中空結(jié)構(gòu)，三柱作為板簧，通過微小的外力獲得板簧的應(yīng)變位移

檢測方法：

• 使用傳感器探頭將板簧的位移捕獲為電容的變化

• 在板簧和傳感器探頭之間設(shè)有特殊的保持機(jī)構(gòu)，通過微小間隙調(diào)整來安裝傳感器探頭。

• 應(yīng)變體因外力而產(chǎn)生的位移量在彈性極限內(nèi)，且與外力的強(qiáng)度成正比，因此采用電容位移計(jì)來測量位移量。

• 撓曲元件前后安裝限位器，間接測量外力，避免損壞傳感器。