spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

發(fā)布時間：2023-05-30　點擊量：1098

spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對每種應(yīng)用進行樣品包裝。
從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體，如果同時使用顯微光學(xué)系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細(xì)點，并輕松測量樣品的薄膜厚度。

該系統(tǒng)可以測量長薄膜的薄膜厚度線輪廓。安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測量單元的最大行程為 1200 mm，可移動并測量薄膜厚度。圖表顯示在顯示屏上，可以保存和打印測量數(shù)據(jù)。

測量厚度范圍	0.5-100um（光學(xué)厚度）實際厚度是將上述除以折射率得到的值
保障	區(qū)域傳感器、急停開關(guān)、聯(lián)鎖
測量時間	15分鐘，1200毫米
權(quán)力	AC100V?50，60Hz?5A以下
測量位置	設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間，間距為 1 mm
寬度分辨率	0.1-200mm可任意設(shè)定
寬度位置精度	±0.02毫米
設(shè)置波長范圍	400-1000納米
設(shè)置發(fā)光部分	5倍物鏡
測量光斑直徑	φ1毫米