magnescale激光尺的特點及運用

發布時間：2022-08-03　點擊量：2712

magnescale激光尺的特點及運用

激光尺度的分辨率不僅要超越納米尺度，還要超越皮尺度。符合客戶要求的分辨率的開發速度就像摩爾定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和穩定性支持先進的測量和定位控制。激光標尺在需要高精度和高分辨率的領域中不可少，例如下一代半導體制造和相機鏡頭模具加工。此外，我們通過使用 Z 傳感器將測量目標的范圍從 1D 擴展到 2D，再到 3D，并開發出具有高角度精度的編碼器，從而不斷預測需求。

*摩爾定律與半導體芯片的集成密度相關的定律，它規定密度每隔一到兩年就會翻一番。1965 年，英特爾的創始人之一戈登·摩爾宣布了這一經驗法則。

激光尺的特點

光柵干涉尺
由于采用了自主研發的光柵干涉儀作為檢測原理，實現了不受溫度、氣壓、空氣湍流影響的測量和控制。
全息
標尺
由于標尺以全息格式而不是繪圖格式制作，因此可以獲得具有良好線性度的輸出信號。
優秀的插補處理技術
使用我們的插值電路和校正技術可以獲得出色的插值精度。

應用

超精密載物臺（真空兼容）
表面粗糙度輪廓測量儀
半導體制造檢測設備
非接觸式精細形狀測量
異形磨床/導光板加工機
非球面加工機

相關產品介紹

系列
規格
類型名稱、材料

BS系列
最高分辨率下午 2.1 點
信號波長138納米
低噪聲下午4點
有效長度
低膨脹玻璃420 毫米
蘇打玻璃960mm
熱膨脹系數
低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
蘇打玻璃8× 10-6 /°C
最大響應速度400毫米/秒
透射式超高分辨率
激光標尺
BS78、BS65
刻度材料：低膨脹玻璃 (BS78)
堿板玻璃（BS65）
BH系列
最高分辨率下午 3.8 點
信號波長250 納米
有效長度640 毫米
熱膨脹系數
零玻璃0.1×10 -6 /°C
無堿玻璃3.7× 10-6 /°C
最大響應速度1,800 毫米/秒
反射式超高分辨率
激光標尺
BH25
刻度材料：零玻璃
無堿玻璃
BL系列
最高分辨率下午 6.1 點
信號波長400納米
有效長度570mm
速度
連接 BD700 時3,000 毫米/秒
模擬輸出5,000 mm/s
熱膨脹系數
零玻璃0.1×10 -6 /°C
無堿玻璃3.7× 10-6 /°C
反射式高速
激光標尺
BL50H
刻度材料：零玻璃
無堿玻璃
BL系列
最高分辨率10納米
信號波長400納米
有效長度
低膨脹玻璃420 毫米
蘇打玻璃1060 毫米
熱膨脹系數
低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
蘇打玻璃8× 10-6 /°C
最大響應速度3,000 毫米/秒
透射式高速
激光尺
BL57
刻度材料：低膨脹玻璃
蘇打玻璃
BH系列
最高分辨率1.5 拉德
信號波長250 納米
反射式超高分辨率
激光標尺
BH20
刻度材料：白板玻璃