氦氣泄漏測試原理及測量方法

發(fā)布時間：2022-01-07　點擊量：6958

氦氣泄漏測試原理及測量方法

在氦氣泄漏測試中，檢測對象充滿氦氣，泄漏的氣體通過質譜儀，只檢測氦氣以確定有無泄漏。

示蹤氣體
氦氣用作待填充在檢查對象中的氣體。濃度范圍可以從 100% 到稀釋。此外，由于氦氣價格昂貴，因此可以回收和使用。
檢測原理
泄漏的氦氣被分析器管離子室中燈絲發(fā)出的電子束電離。該離子被加速并從狹縫中彈出。當通過施加在分析單元上的磁場時，由于質量的不同，它繪制出不同的圓形軌道。通過用收集器僅收集氦離子來檢測氦。
【圖解】氦氣泄漏測試原理
適用產(chǎn)品

Belger 方法常用于氦氣泄漏測試。在貝爾格方法中，工件內(nèi)部被減壓，然后充滿氦氣，這樣從大氣中泄漏的氣體不會被稀釋。檢測器吸入腔室內(nèi)部，檢測并判斷泄漏的氦氣。排氣后，工作中的氦氣用氮氣凈化。