碳化硅晶片拋光設備-日本wingo拋光機L-5000系列
以碳化硅（SiC）晶片為加工對象,提出了雙面化學機械拋光和單面化學機械拋光相結合的拋光方法。先在雙面拋光機上對SiC晶片硅面和碳面同時進行化學機械拋光,然后采用單面拋光機對硅面進行化學機械拋光。研究了此方法加工碳化硅晶片的特點,對比分析了采用此方法與傳統單面拋光加工晶片的幾何參數。采用表面缺陷測試儀和原子力顯微鏡檢測加工晶片的表面形貌。
系統型拋光機變速型L-5000系列
是變速型，可以安裝附件。
■ L-5000系列拋光機規格
| 模型 | 產品名稱 | 旋轉速度 | 電機輸出 | 外形尺寸 (mm) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| L-5000 | 8"單軸臺式 | 0-300分鐘-1 | 400W逆變器控制 （附于一軸） | W390 x D540 x H405 | 約30公斤 |
| L-5010 | 8"兩軸臺式 | W770 x D540 x H405 | 約60公斤 | ||
| L-5020 | 8"三軸臺式 | W1150 x D540 x H405 | 約90kg | ||
| L-5030 | 8"4軸桌面型 | W1530 × D540 × H405 | 約120kg | ||
| L-5100 | 8"單軸落地式 | W390 x D540 x H960 | 約 45 公斤 | ||
| L-5110 | 8"雙軸落地式 | W770 x D540 x H960 | 約75kg | ||
| L-5120 | 8"三軸落地式 | W1150 x D540 x H960 | 約105kg | ||
| L-5130 | 8"四軸落地式 | W1530 x D540 x H960 | 約135kg |
| * | 電源：支持單相100/110V 50/60Hz（標準），單相/三相200/220V 50/60Hz供水1/2“排水1" |
|---|---|
| * | 除8"(Φ205)外，還可生產9"(Φ225)。 |
| ? 8"(Φ205)鋁制孔盤/氟樹脂加工（附于一軸） | 1張 |
|---|---|
| ? 帶接頭的供水軟管 (12mm x 3m) | 1套 |
| ? 帶接頭的排水軟管 (32mm x 1m) | 1套 |
■選項
| ? 8"(Φ205) 9"(Φ225)鋁無孔盤 | |
|---|---|
| ? 8"9"壓紙環（無膠用） | |
| ? 8 英寸 9 英寸拋光收緊帶（無膠用） | |
| ? 8“9"防濺水罩 | |
| ? 8"9"防塵蓋 |
