薄膜和微小區域的熱導率如何進行測量？-日本hrd-thermal熱顯微鏡TM3
用于測量薄膜和微小區域的熱導率
特性
- 熱物理性質顯微鏡是測量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質值之一。
- 它是一種可以通過點，線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
- 也可以測量微米級的熱物理性質值的分布，這在常規熱物理性質測量設備中被認為是困難的。
- 它是*yi款能夠進行非接觸式高分辨率熱性能測量的設備。
- 利用檢測到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區域中測量熱物理性質（點/線/表面測量）。
- 由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以測量基材上的樣品。
- 激光非接觸式測量。
- 可以檢測薄膜下的裂縫，空隙和剝離。
熱物理顯微鏡的測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有根據表面溫度而變化的性質（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強度的變化，來測量表面的相對溫度變化。去做。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導致表面溫度響應的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。
主要規格
名稱/產品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
測量方式 | 熱物理性質分布測量（1維，2維，1點） |
測量項目 | 熱滲透率，（熱擴散率），（熱導率） |
檢測光斑直徑 | 約3μm |
1點測量標準時間 | 10秒 |
待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
重復精度 | 耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％ |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以內，厚度3mm以內 - 需要對樣品表面進行鏡面拋光。
- 樣品表面需要進行Mo濺射。
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工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據設備中內置的溫度傳感器） |
平臺移動距離 | ? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm |
加熱激光 | 半導體激光波長：808nm |
檢測激光 | 半導體激光波長：658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標準配件 | 樣品架，參考樣品 |
選項 | 光學壓盤，空調，空調房，飛濺裝置 |
